MFC, MFM [AALBORG]

질량유량계 AFC
모델타입	Mass Flow Controller (MFC)
제품소개	⊙ 적용 유체: - 가스 (10sccm~100slpm 범위의 다양한 유량 제어) ⊙ 제품 특징: - 아날로그 제어 방식 (차압식 유량 측정 원리) - 직선형 센서 튜브 적용 - 외부에서 접근 가능한 영점/스팬 조정 ⊙ 제품 기능: - 가스 유량 표시 및 제어 - 온도/압력 변화에 영향 받지 않는 정밀 유량 제어 - 전자기 밸브를 통한 유량 설정 및 제어 - 안전을 위한 전원 차단 시 밸브 자동 닫힘

질량유량계 AFC

모델타입

Mass Flow Controller (MFC)

제품소개

⊙ 적용 유체:
- 가스 (10sccm~100slpm 범위의 다양한 유량 제어)

⊙ 제품 특징:
- 아날로그 제어 방식 (차압식 유량 측정 원리)
- 직선형 센서 튜브 적용
- 외부에서 접근 가능한 영점/스팬 조정

⊙ 제품 기능:
- 가스 유량 표시 및 제어
- 온도/압력 변화에 영향 받지 않는 정밀 유량 제어
- 전자기 밸브를 통한 유량 설정 및 제어
- 안전을 위한 전원 차단 시 밸브 자동 닫힘

[English] Catalog [English] Manual

AFC 질량 유량 제어기에서 결합된 가스 흐름은 적절히 선택된 오리피스가 있는 비례 전자기 밸브를 통해 흐릅니다.

폐쇄 루프제어 회로는 질량유량 출력을 지속해서 모니터링하고 설정된 유량으로 유지합니다. AFC 질량 유량 제어기에는
유량을 원하는 대로 설정할 수 있는 전자기 제어 밸브가 포함되며 이는 일반적으로 안전 기능으로 닫혀 정전 시에 가스 흐름을 차단시킵니다.
AFC 질량 유량 컨트롤러는 유량을 측정하고 제어하도록 설계되었으며 [N2] 가스는 1/4", 3/8" 또는 선택적인 1/8" 압축 피팅을 통해 연결됩니다. 또한, 이 컨트롤러는 벤치 탑 장치로 사용하거나 베이스의 나사로 장착할 수 있습니다.

유ㆍ수량계의 원료, 크기, 유량의 범위 등 고객들의 자세한 요구조건을 반영하여 유량계를 제조할 수 있습니다.

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