MFC, MFM [AALBORG]

질량유량계 GFC
모델타입	Mass Flow Controller (MFC)
제품소개	⊙ 적용 유체: - 기체 (바이오의료, 반도체, 분석 및 산업 공정 전문 납품) ⊙ 제품 특징: - 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 재질 - 1x10-9 smL/sec 헬륨 누출 기준 만족 - 아날로그/디지털 통신 인터페이스 지원 - ±1% 이내의 높은 정확도 ⊙ 제품 기능: - 기체 유량 지시 및 제어 - 10 sccm ~ 1000 sL/min 유량 범위 - 전자밸브를 통한 유량 정밀 조절

질량유량계 GFC

모델타입

Mass Flow Controller (MFC)

제품소개

⊙ 적용 유체:
- 기체 (바이오의료, 반도체, 분석 및 산업 공정 전문 납품)

⊙ 제품 특징:
- 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 재질
- 1x10-9 smL/sec 헬륨 누출 기준 만족
- 아날로그/디지털 통신 인터페이스 지원
- ±1% 이내의 높은 정확도

⊙ 제품 기능:
- 기체 유량 지시 및 제어
- 10 sccm ~ 1000 sL/min 유량 범위
- 전자밸브를 통한 유량 정밀 조절

[한글] 매뉴얼 [English] Catalog

열 질량 유량 컨트롤러 GFC는 설정된 유량의 가스를 표시하고 제어하도록 설계되었으며,

기존 유량 장치의 특성과 정확성을 저렴한 비용과 콤팩트한 디자인으로 제공합니다.

컨트롤러는 비 부식성 가스의 경우 알루미늄 및 황동으로 구성, 부식성 응용의 경우 316 스테인리스 스틸로 구성된

흐름 통로관과 함께 고급의 직선 튜브 센서가 통합되어 있으며, 트랜스미터 외부에는 제로 및 스판 조정을 할 수 있습니다.

유ㆍ수량계의 원료, 크기, 유량의 범위 등 고객들의 자세한 요구조건을 반영하여 유량계를 제조할 수 있습니다.

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