제품소개

고객에게 신뢰받는 기업, 함께하는 기업 필스트로닉

질량 유량계가스용

질량유량계 GFC
모델타입 Mass Flow Controller (MFC)
제품소개

⊙ 적용 유체:
  - 기체 (바이오의료, 반도체, 분석 및 산업 공정 전문 납품)

⊙ 제품 특징:
  - 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 재질
  - 1x10-9 smL/sec 헬륨 누출 기준 만족
  - 아날로그/디지털 통신 인터페이스 지원
  - ±1% 이내의 높은 정확도

⊙ 제품 기능:
  - 기체 유량 지시 및 제어
  - 10 sccm ~ 1000 sL/min 유량 범위
  - 전자밸브를 통한 유량 정밀 조절

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   열 질량 유량 컨트롤러 GFC는 설정된 유량의 가스를 표시하고 제어하도록 설계되었으며,

기존 유량 장치의 특성과 정확성을 저렴한 비용과 콤팩트한 디자인으로 제공합니다.
컨트롤러는 비 부식성 가스의 경우 알루미늄 및 황동으로 구성, 부식성 응용의 경우 316 스테인리스 스틸로 구성된
흐름 통로관과 함께 고급의 직선 튜브 센서가 통합되어 있으며, 트랜스미터 외부에는 제로 및 스판 조정을 할 수 있습니다.
유ㆍ수량계의 원료크기유량의 범위 등 고객들의 자세한 요구조건을 반영하여 유량계를 제조할 수 있습니다.

▼ 모바일 및 PC버전 상관없이 아래 정보(이미지)를 클릭하시면 모든 글자를 크게 보실 수 있습니다 


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